物理蒸鍍就是把物質(zhì)加熱揮發(fā)，然后將其蒸氣沉積在預(yù)定的基材上。由于蒸發(fā)源須加熱揮發(fā)，又是在真空中進行，故亦稱為熱蒸鍍或真空蒸鍍。

其可分為三個步驟: 

(1)凝態(tài)的物質(zhì)被加熱揮發(fā)成汽相  
(2)蒸汽在具空中移動一段距離至基材 
(3)蒸汽在基材上冷卻凝結(jié)成薄膜