微信掃一掃 關(guān)注浦元最新動(dòng)態(tài)！用來(lái)進(jìn)行介質(zhì)膜的濺射，如在玻璃上鍍ITO膜之前需鍍上一層SiO2擴(kuò)散隔離層，該SiO2膜就是采用射頻濺射。
通常在濺射過(guò)程中輝光放電中的離子撞擊到陰極時(shí)，會(huì)與陰極的電子中和，是的濺射現(xiàn)象可以繼續(xù)進(jìn)行。
但若靶材本身不導(dǎo)電的話(huà)，離子撞擊到靶材上沒(méi)有電子中和，
正電荷一直累積，使與后來(lái)的離子排斥，這會(huì)造成取代直流電源，使可解決此離子撞擊現(xiàn)象的停頓。