真空鍍膜設(shè)備行業(yè)應(yīng)用磁控濺射鍍膜機(jī)的清洗工藝
作者: 來源: 日期:2017-06-14 10:38:59 人氣:4764
真空鍍膜設(shè)備行業(yè)應(yīng)用磁控濺射鍍膜機(jī)的清洗工藝
磁控濺射鍍膜機(jī)在使用前,一定要注意清洗保養(yǎng)。包括真空材料、真空零部件等。
真空工藝進(jìn)行前應(yīng)清洗真空材料,從工件或系統(tǒng)材料表面清除污染物;真空零部件的表面清洗處理也是很有必要的,因?yàn)橛晌廴疚锼斐傻臍怏w、蒸氣源不僅會(huì)使真空系統(tǒng)不能獲得所要求的真空度。而且由于污染物的存在,同時(shí)也會(huì)影響真空部件連接處的強(qiáng)度和密封性能。
污染物可以定義為“任何一種無用的物質(zhì)或能量”,根據(jù)污染物的物理狀態(tài)可分為固體、氣體及液體,它們以膜或散粒形式存在。就其化學(xué)特征來看,它可以處于離子態(tài)或共價(jià)態(tài),可以是無機(jī)物或有機(jī)物。
暴露在空氣中的表面最易受到污染,污染的來源有多種,最初的污染通常是表面本身形成過程中的一部分。吸附現(xiàn)象、化學(xué)反應(yīng)、浸析和干燥過程、機(jī)械處理以及擴(kuò)散和離析過程都使各種成分的表面污染物增加。比較常見的真空材料表面上的污染物具體有以下幾種類型。
①油脂:加工、裝配、操作時(shí)沾染上的潤滑劑、切削液、真空油脂等;
?、谒悾翰僮鲿r(shí)的手汗、吹氣時(shí)的水汽、唾液等;
③表面氧化物:材料長期放置在空氣中或放置在潮濕空氣中所形成的表面氧化物;
?、芩?、堿、鹽類物質(zhì):清洗時(shí)的殘余物質(zhì)、手汗、水中的礦物質(zhì)等;
⑤拋光殘?jiān)碍h(huán)境空氣中的塵埃和其它有機(jī)物等。
清洗后的表面根據(jù)要求分為原子級(jí)清潔表面和工藝技術(shù)上的清潔表面兩類。
前期到位的清洗工作可以減少很多麻煩,避免很多小問題的發(fā)生,對(duì)工作效率、磁控濺射鍍膜機(jī)鍍膜質(zhì)量都具有非常積極的作??纱蟠筇岣哒婵障到y(tǒng)中所有器壁和其它組件表面在各工作條件下的工作穩(wěn)定性。這些工作條件包括:高溫、低溫、以及電子、離子、光子或重粒子的發(fā)射和轟擊
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1、鍍膜技術(shù)在裝飾品方面的應(yīng)用
隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展和生活水平的提高,人們喜歡將手表殼、表帶、服飾、燈飾、眼鏡架、室內(nèi)外裝飾件、五金箱包、手機(jī)殼、手機(jī)視屏、衛(wèi)生潔具、食品包裝等裝飾品精飾得五彩繽紛。
2、鍍膜技術(shù)在刀具、模具等金屬切削加工工具方面的應(yīng)用
在生活中我們會(huì)看到金黃色的、鈷銅色的、黑色的等七雜八色的鉆頭、銑刀、模具等,這些就是經(jīng)過鍍膜技術(shù)加工后的涂層工具。
?。?)金黃色的是在刀具上涂鍍了TiN、ZrN 涂層。TiN是第一代應(yīng)用廣泛的硬質(zhì)層材料。
(2)黑色的是在切削工具上涂了TiC、CrN涂層。
?。?)鈷銅色的是在刀具上鍍涂了TiALN涂層。
3、鍍膜技術(shù)在建筑玻璃和汽車玻璃上的應(yīng)用
建筑玻璃有透光和隔熱兩個(gè)基本功能。普通玻璃能透過絕大部分太陽光輻射能量,這對(duì)采光和吸收太陽光線的能量十分有利。而對(duì)于空間紅外輻射,普通玻璃雖能阻止室內(nèi)的熱量直接透過室外,但熱量被玻璃吸收后的二次散熱也會(huì)造成很大的損失。隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展,普通玻璃已越來越不能滿足人們的要求。而陽光控制膜和低輻射膜正好能彌補(bǔ)了普通玻璃在這一方面的不足。陽光控制膜可以滿足低緯度地區(qū)降低室內(nèi)溫度的要求;而低輻射膜則能滿足高緯度地區(qū)充分接受太陽輻射能量和最大限度阻止室內(nèi)熱量外流的要求。
在玻璃上,鍍涂一層TiO2就能使其變成防霧、防露和自清潔玻璃。這種工藝在汽車玻璃上有很好的應(yīng)用。
4、鍍膜技術(shù)在平板顯示器中的應(yīng)用
所有各類平板顯示器都要用到各種類型的薄膜,而且?guī)缀跛蓄愋偷钠桨屣@示器件都需要使用ITO膜,以滿足透明電器的要求??梢院敛豢鋸埖恼f:沒有薄膜技術(shù)就沒有平板顯示器件。
5、鍍膜技術(shù)在太陽能利用方面的應(yīng)用
當(dāng)需要有效地利用太陽熱能時(shí),就要考慮采用對(duì)太陽光線吸收較多、而對(duì)熱輻射等所引起的損耗較小的吸收面。太陽光譜的峰值大約在波長為2-20μm之間的紅外波段。由于太陽輻射與熱輻射光譜在波段上有差異,因此,為了有效的利用太陽熱能,就必須考慮采用具有波長選擇特性的吸收面。理想的選擇吸收面是太陽輻射光譜的波段(可見光波段)吸收率(α)為1,在熱輻射波段(紅外波段)輻射率工藝